Baza technologii
Sposób wytwarzania nanodrutów z krzemku palladu
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Tele- i Radiotechniczny
Opis technologii / usługi
Istotą wynalazku jest zastosowanie dwuetapowego sposobu wytwarzania nanodrutów z krzemku palladu z wykorzystaniem technologii fizycznego odparowania w próżni - PVD - Physical Vapor Deposition i chemicznego osadzania z par - CVD - Chemical Vapor Deposition.
Zalety / korzyści z zastosowania technologii
Zaletą technologii jest to, że warstwę z procesu PVD osadzoną na podłożu Si, modyfikuje się w rurowym piecu kwarcowym w temperaturze 650 °C i czasie 30 minut w procesie chemicznego osadzania z par w obecności ksylenu jako dodatkowego źródła węgla. Ten dodatkowy węgiel ma przeciwdziałać wytworzeniu zbyt dużych obszarów krzemku palladu na podłożu Si w wyniku reakcji ziaren Pd z podłożem pod wpływem temperatury procesu CVD.
Zastosowanie rynkowe
Tworzenie kontaktów omowych w celu obniżenia oporności kontaktów metalicznych w tranzystorach typu MOS, montowanych na płytkach drukowanych; tranzystorów MOSEF z efektem polowym, w których kontakt źródło-dren będzie zdefiniowany jako obszar zawierający nanodruty z krzemku palladu lub jako ostrza mikroskopu elektronowego w badaniach próbek stałych lub materiału biologicznego.
Tagi
Branże
Lokalizacja
Dane podmiotu
Nazwa: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Tele- i Radiotechniczny
NIP: 5250008850
Kraj: Polska