Baza technologii


Logo wpisu Sposób wytwarzania nanodrutów z krzemku palladu

Sposób wytwarzania nanodrutów z krzemku palladu

Instytut Tele- i Radiotechniczny

Opis technologii / usługi

Istotą wynalazku jest zastosowanie dwuetapowego sposobu wytwarzania nanodrutów z krzemku palladu z wykorzystaniem technologii fizycznego odparowania w próżni - PVD - Physical Vapor Deposition i chemicznego osadzania z par - CVD - Chemical Vapor Deposition.

Zalety / korzyści z zastosowania technologii

Zaletą technologii jest to, że warstwę z procesu PVD osadzoną na podłożu Si, modyfikuje się w rurowym piecu kwarcowym w temperaturze 650 °C i czasie 30 minut w procesie chemicznego osadzania z par w obecności ksylenu jako dodatkowego źródła węgla. Ten dodatkowy węgiel ma przeciwdziałać wytworzeniu zbyt dużych obszarów krzemku palladu na podłożu Si w wyniku reakcji ziaren Pd z podłożem pod wpływem temperatury procesu CVD.

Zastosowanie rynkowe

Tworzenie kontaktów omowych w celu obniżenia oporności kontaktów metalicznych w tranzystorach typu MOS, montowanych na płytkach drukowanych; tranzystorów MOSEF z efektem polowym, w których kontakt źródło-dren będzie zdefiniowany jako obszar zawierający nanodruty z krzemku palladu lub jako ostrza mikroskopu elektronowego w badaniach próbek stałych lub materiału biologicznego.

Tagi

Branże

Lokalizacja

Dane podmiotu

Nazwa: Instytut Tele- i Radiotechniczny

NIP: 5250008850

Adres www: http://www.itr.org.pl

Typ podmiotu: Instytut naukowo - badawczy

Wielkość: Średnie

Forma ochrony

Wynalazek

Poziom gotowości technologicznej

None

Forma komercjalizacji

Komercyjne usługi badawcze

Dodatkowe informacje

Inne podmioty/osoby nie posiadają praw własności do tej technologii.
Posiadający technologię zapewnia doradztwo związane z wdrożeniem.

Dodano 12 maja 2021 16:54

Wróć na stronę "Bazy"