Baza technologii

Sposób kompensacji błędów w skanujących systemach pomiarowych
Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty
Opis technologii / usługi
Technologia jest przeznaczona do stosowania w skanujących systemach pomiarowych z jedną lub dwiema głowicami konfokalnymi do pomiarów kształtu powierzchni i grubości badanego obiektu, zwłaszcza cienkich płytek, w których wykorzystuje się wzorzec optyczny zawierający co najmniej jeden punkt lub grupę punktów referencyjnych o znanych lub założonych parametrach. Według wynalazku dokonuje się naprzemiennie pomiaru wartości wzorca w punkcie lub grupie punktów referencyjnych oraz pomiaru wartości w punktach badanego obiektu.
Zalety / korzyści z zastosowania technologii
Technologia pozwala na bardzo dokładne pomiary kształtu i grubości cienkich struktur.
Zastosowanie rynkowe
Branża elektromaszynowa Bardzo dokładne pomiary kształtu i grubości cienkich struktur. Zastosowanie jest efektywne szczególnie w systemach skanujących, gdzie czas pomiaru przy wysokiej rozdzielczości poprzecznej jest stosunkowo długi.