Baza technologii


Logo wpisu Sposób pomiaru grubości i kształtu cienkich płytek i układ do pomiaru grubości i kształtu cienkich płytek

Sposób pomiaru grubości i kształtu cienkich płytek i układ do pomiaru grubości i kształtu cienkich płytek

Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

Opis technologii / usługi

Oferowane jest, oparte o opatentowaną metodologię, podwykonawstwo przyrządu do mierzenia cienkich płytek. Technologia umożliwia jednoczesny pomiar grubości i kształtu obu powierzchni cienkiej płytki, usytuowanej pionowo między dwoma głowicami pomiarowymi, wyposażonymi w czujniki pomiarowe. Pomiar wykonuje się po uprzednim ustaleniu współosiowości tych głowic umieszczając w polu ogniskowania inną cienką płytkę o ostrej, prostej krawędzi. Po ustaleniu współosiowości dokonuje się pomiaru odległości pomiędzy głowicami pomiarowymi przy użyciu płasko-równoległej przezroczystej płytki. Głowice pomiarowe są usytuowane poziomo i współosiowo po obu stronach ustawionej pionowo mierzonej cienkiej płytki, przy czym każda głowica ma czujnik pomiarowy światła odbitego od powierzchni płytki.

Zalety / korzyści z zastosowania technologii

Innowacyjna technologia pozwalająca na niezwykle dokładne pomiary kształtu i grubości cienkich struktur. Jej zaletą jest szybki pomiar w zautomatyzowanym środowisku przy minimalnym udziale czynnika ludzkiego - brak błędów pomiarowych.

Zastosowanie rynkowe

Technologia może być stosowana przy bardzo dokładnych pomiarach kształtu i grubości cienkich struktur krzemowych w produkcji układów elektronicznych. Zastosowanie jest efektywne szczególnie w systemach skanujących, gdzie czas pomiaru przy wysokiej rozdzielczości poprzecznej jest stosunkowo długi.

Tagi

Branże

Lokalizacja

Dane podmiotu

Nazwa: Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

NIP: 5250008790

Kraj: Polska

Typ podmiotu: Instytut naukowo - badawczy

Wielkość: Małe

Forma ochrony

Wynalazek

Poziom gotowości technologicznej

None

Forma komercjalizacji

Umowa produkcyjna (podwykonawstwo)

Dodatkowe informacje

Inne podmioty/osoby nie posiadają praw własności do tej technologii.
Posiadający technologię zapewnia doradztwo związane z wdrożeniem.

Linki


Dodano 13 maja 2021 17:33

Wróć na stronę "Bazy"