Baza technologii


Logo wpisu Uchwyt pomiarowy do cienkich płytek

Uchwyt pomiarowy do cienkich płytek

Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

Opis technologii / usługi

Przedmiotem technologii jest uchwyt umożliwiający pomiar cienkich płytek o grubości poniżej 100 µm (w szczególności płytek krzemowych). Płytka ustawiona jest w pierścieniach w pozycji pionowej celem uniknięcia deformacji kształtu spowodowanej grawitacją. Położenie płytki ustalą dwa zestawy kulek po 3 kulki z każdej strony płytki. Kulki znajdują się dokładnie naprzeciw siebie i są dociskane do płytki za pomocą identycznych płaskich sprężyn. Dzięki takiej konfiguracji siła wynikowa wywierana przez kulki na płytkę stanowi różnicę sił z jaką działają odpowiadające sobie sprężyny. Siła wynikowa jest tak dobrana aby siła tarcia wynikająca z działania sprężyn równoważyła siłę grawitacji. Umieszczenie płytki w pierścieniach pomiędzy parami odpowiadających sobie kulek dociskanych przez sprężyny nie wprowadza dodatkowych naprężeń i dzięki czemu nie zmienia się kształt płytki. W związku z powyższym możliwe są jednoczesne pomiary kształtu (falistości) obu powierzchni oraz grubości płytki mierzonej.

Zalety / korzyści z zastosowania technologii

Zastosowanie wynalazku poprawia efektywność pracy. Umieszczenie płytki w pierścieniach pomiędzy parami odpowiadających sobie kulek dociskanych przez sprężyny nie wprowadza dodatkowych naprężeń i dzięki czemu nie zmienia się kształt płytki. Możliwe są zatem jednoczesne pomiary kształtu obu powierzchni oraz grubości płytki.

Zastosowanie rynkowe

Dowolne pomiary cienkich płytek, a w szczególności waferów w przemyśle elektronicznym. Pomiary delikatnych i łatwo odkształcalnych struktur.

Tagi

Branże

Lokalizacja

Dane podmiotu

Nazwa: Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

NIP: 5250008790

Kraj: Polska

Typ podmiotu: Instytut naukowo - badawczy

Wielkość: Małe

Forma ochrony

Wynalazek

Poziom gotowości technologicznej

None

Forma komercjalizacji

Umowa produkcyjna (podwykonawstwo)

Dodatkowe informacje

Inne podmioty/osoby nie posiadają praw własności do tej technologii.
Posiadający technologię zapewnia doradztwo związane z wdrożeniem.

Linki


Dodano 13 maja 2021 17:33

Wróć na stronę "Bazy"