Baza technologii


Logo wpisu Uchwyt pomiarowy do cienkich płytek

Uchwyt pomiarowy do cienkich płytek

Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

Opis technologii

Przedmiotem technologii jest uchwyt umożliwiający pomiar cienkich płytek o grubości poniżej 100 µm (w szczególności płytek krzemowych). Płytka ustawiona jest w pierścieniach w pozycji pionowej celem uniknięcia deformacji kształtu spowodowanej grawitacją. Położenie płytki ustalą dwa zestawy kulek po 3 kulki z każdej strony płytki. Kulki znajdują się dokładnie naprzeciw siebie i są dociskane do płytki za pomocą identycznych płaskich sprężyn. Dzięki takiej konfiguracji siła wynikowa wywierana przez kulki na płytkę stanowi różnicę sił z jaką działają odpowiadające sobie sprężyny. Siła wynikowa jest tak dobrana aby siła tarcia wynikająca z działania sprężyn równoważyła siłę grawitacji. Umieszczenie płytki w pierścieniach pomiędzy parami odpowiadających sobie kulek dociskanych przez sprężyny nie wprowadza dodatkowych naprężeń i dzięki czemu nie zmienia się kształt płytki. W związku z powyższym możliwe są jednoczesne pomiary kształtu (falistości) obu powierzchni oraz grubości płytki mierzonej.

Zalety / korzyści z zastosowania technologii

Zastosowanie wynalazku poprawia efektywność pracy. Umieszczenie płytki w pierścieniach pomiędzy parami odpowiadających sobie kulek dociskanych przez sprężyny nie wprowadza dodatkowych naprężeń i dzięki czemu nie zmienia się kształt płytki. Możliwe są zatem jednoczesne pomiary kształtu obu powierzchni oraz grubości płytki.

Zastosowanie rynkowe

Dowolne pomiary cienkich płytek, a w szczególności waferów w przemyśle elektronicznym. Pomiary delikatnych i łatwo odkształcalnych struktur.

Tagi

Branże

Lokalizacja

Dane podmiotu

Nazwa: Instytut Optyki Stosowanej imienia prof. Maksymiliana Pluty

NIP: 5250008790

Kraj: Polska

Typ podmiotu: Instytut naukowo - badawczy

Wielkość: Małe

Forma ochrony

Wynalazek

Poziom gotowości technologicznej

None

Forma komercjalizacji

Umowa produkcyjna (podwykonawstwo)

Dodatkowe informacje

Inne podmioty/osoby nie posiadają praw własności do tej technologii.
Posiadający technologię zapewnia doradztwo związane z wdrożeniem.

Dodano 13 maja 2021 17:33

Wróć na stronę "Bazy"