Baza technologii

Wykonywanie miniaturowych wysokorozdzielczych obwodów biernych na podłożach ceramicznych
Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Opis technologii / usługi
Oferujemy technologię wytwarzania wysokorozdzielczych obwodów grubowarstwowych na podłożach ceramicznych Al2O3. Obwody mogą bazować na metalach: Ag, Au, Pt, Pd lub dielektrykach. Proces technologiczny stosowania tych past obejmuje następujące operacje: - sitodruk i wysuszenie warstwy pasty światłoczułej, - ekspozycja - naświetlenie warstwy promieniowaniem UV przez fotomaskę, - wywołanie warstwy poprzez wymycie nie naświetlonej jej części, - wypalenie warstwy. Dzięki zastosowaniu fotomasek o precyzyjnych wymiarach istnieje możliwość odwzorowania ich na eksponowanej warstwie. Wymiary powstających w ten sposób wzorów mogą być zbliżone do osiąganych techniką cienkowarstwową, to znaczy: ścieżki przewodzące o szerokości 20 µm i odstępach między nimi 20/30 µm oraz okienka w warstwie dielektrycznej 70/70 µm.
Zalety / korzyści z zastosowania technologii
Rozwiązaniem, które weszło do praktyki produkcyjnej w dziedzinie mikroukładów grubo-warstwowych, jest zastosowanie materiałów, które pozwalają łączyć technologię grubowarstwową (sitodruk) z fotolitografią. Ta ostatnia operacja pozwala w znaczny sposób poprawić rozdzielczość ścieżek przewodzących z ok. 150/150 µm na 30/30 µm. Istotą tej nowej technologii jest dysponowanie pastami do sitodruku, które jednocześnie mają zdolność do poddawania się procesowi fotolitografii. Materiały takie są już na rynku. Jednakże, nie spełniają jeszcze wszystkich oczekiwań producentów mikroukładów grubowarstwowych, między innymi dlatego, że wymagają specyficznych warunków ich eksploatacji (praca przy oświetleniu żółtym lub zielonym). W konsekwencji właściwości deklarowane przez producentów past światłoczułych są trudne do osiągnięcia w zwykłych warunkach produkcyjnych. W przeciwieństwie do innych technik wytwarzania obwodów mikrofalowych np. miedź na laminacie szklano-epoksydowym, wysoka stała dielektryczna ceramiki pozwala znacznie zminiaturyzować obwody bierne.
Zastosowanie rynkowe
Wysokie rozdzielczości i duża zdolność podłoży ceramicznych do odprowadzania ciepła predestynują tą technologię do wytwarzania biernych układów mikrofalowych takich jak filtry pasmowo przepustowe i pasmowo-zaporowe, sprzęgacze i układy dopasowujące na zakres częstotliwości do 6 GHz.
Tagi
Branże
Lokalizacja
Dane podmiotu
Nazwa: Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
NIP: 5250008488